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中阶梯光栅光谱仪

中阶梯光栅光谱仪具备宽波段、高分辨率,无需多次曝光拼接即可实现全谱直读,有利于在线、实时原位检测,代表了先进光谱技术的发展趋势。

光栅中心是国内最早进行中阶梯光栅光谱技术研究的科研单位,自主研制了多种型号的中阶梯光栅光谱仪,应用于钢水元素、土壤重金属、水泥、油品成分分析等领域,技术指标达到国际一流水平。

产品优势
典型应用
规格型号

提出的锥面测量原理与转向高倍细分测量原理实现了精度与分辨率的飞跃,突破了测量量程对单体高精度大尺寸测量光栅制作的无限制需求,实现目前最大一维量程的高刻线密度光栅线位移传感器,解决“卡脖子”问题,相比准许对我国销售最高刻线密度光栅位移测量产品实现量程与精度的110%和250%增长,二维光栅位移测量产品量程与分辨率分别实现3倍和5倍增长。

 

光刻机工作台

高端多轴数控机床

高精度影像仪

三坐标机检测

大型金刚石车床

 

规格型号 真空型 宽波段 温控型 小型
波段范围(nm) 160-1000 200-1100 190-600 200-650
光谱分辨率(nm) 0.009@257.61nm <0.015@254nm <0.015@200nm <0.015
数值孔径 0.09 0.09 0.09 0.00172