产品优势
典型应用
规格型号
提出的锥面测量原理与转向高倍细分测量原理实现了精度与分辨率的飞跃,突破了测量量程对单体高精度大尺寸测量光栅制作的无限制需求,实现目前最大一维量程的高刻线密度光栅线位移传感器,解决“卡脖子”问题,相比准许对我国销售最高刻线密度光栅位移测量产品实现量程与精度的110%和250%增长,二维光栅位移测量产品量程与分辨率分别实现3倍和5倍增长。
光刻机工作台
高端多轴数控机床
高精度影像仪
三坐标机检测
大型金刚石车床
规格型号 | 真空型 | 宽波段 | 温控型 | 小型 |
波段范围(nm) | 160-1000 | 200-1100 | 190-600 | 200-650 |
光谱分辨率(nm) | 0.009@257.61nm | <0.015@254nm | <0.015@200nm | <0.015 |
数值孔径 | 0.09 | 0.09 | 0.09 | 0.00172 |