科室介绍
Department Introduction
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
国家光栅制造与应用工程技术研究中心
National Engineering Research Center of Diffraction Grating Man

中科院长春光机所是我国光栅的发源地,1959 年自主研制出国内第一台光栅刻划机和第一块光栅,并支持了我国第一颗原子弹爆炸试验的光谱分析工作。2007年国家以长春光机所为依托单位组建了“国家光栅制造与应用工程技术研究中心”(简称国家光栅中心)。

在光栅制造领域,国家光栅中心拥有6台光栅刻划机,其中2016年研制成功的“大型高精度衍射光栅刻划系统”属于世界上综合技术指标最高的大型高精度光栅刻划机系统,并利用该刻划机研制出了400mm×500mm世界最大面积中阶梯光栅。

全息光栅方面国家光栅中心具备多套大口径全息曝光系统、2台反应离子束刻蚀机、1台曲面光栅离子束刻蚀机、高精度光栅杂散光检测设备、衍射波前测试设备、衍射效率测试设备。能够研制从软X射线波段到毫米波段的各种平面、球面、非球面、凹面和凸面高端全息光栅。具有制作200mm×200mm以下面积,多种刻槽密度全息离子束刻蚀光栅的能力。

国家光栅中心研制了国内两台扫描干涉场曝光系统,其中2020年完成的国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”,具备研制最大面积达650mm×1700mm单体无拼缝全息光栅的能力。

光谱仪器及技术方面,1958年起先后研制出中型和大型摄谱仪、红外分光光度计、紫外分光光度计、真空紫外单色器、空间太阳紫外光谱辐照监视器、高分辨率棱镜式成像光谱仪、全自动生化分析仪等。近年来,成功研制微型光纤光谱仪、中阶梯光栅光谱仪、棱镜-光栅型成像光谱仪等新型光谱仪器,

计量光栅方面五十多年来先后生产光学编码盘、圆光栅盘、分划板、鉴别率板、等精密刻划元件经过多年的技术开发投入,目前传统光电编码器最高精度可以到1″,最小尺寸可到(用直径符号替代)20mm。另外,在反射式编码器方面业取得长足进展,目前已开发出满足工程应用的反射式光电编码器,它具有超薄、抗冲击性强等有优点。在可靠性方面相对于传统编码器有了大幅提高。

承担项目与成果
研究项目
研究成果
科研应用
市场应用

研究项目-科技部国家重大科学仪器开发专项“紫外凸面光栅研发及应用”

科技部国家重大科学仪器开发专项“高端全息光栅研发”

国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”

“十一五”国家科技支撑计划重大项目《科学仪器设备研制与开发》课题“高分辨分光器件及接收部件 (器件)的研制与开发”

国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”

973计划项目“大面积光栅纳米精度制造中的基础问题研究”

科技部“国家光栅制造与应用工程技术研究中心”组建项目

研究成果-科技部国家重大科学仪器开发专项“紫外凸面光栅研发及应用”

科技部国家重大科学仪器开发专项“高端全息光栅研发”

国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”

“十一五”国家科技支撑计划重大项目《科学仪器设备研制与开发》课题“高分辨分光器件及接收部件 (器件)的研制与开发”

国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”

973计划项目“大面积光栅纳米精度制造中的基础问题研究”

科技部“国家光栅制造与应用工程技术研究中心”组建项目

科研应用-科技部国家重大科学仪器开发专项“紫外凸面光栅研发及应用”

科技部国家重大科学仪器开发专项“高端全息光栅研发”

国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”

“十一五”国家科技支撑计划重大项目《科学仪器设备研制与开发》课题“高分辨分光器件及接收部件 (器件)的研制与开发”

国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”

973计划项目“大面积光栅纳米精度制造中的基础问题研究”

科技部“国家光栅制造与应用工程技术研究中心”组建项目

市场应用-科技部国家重大科学仪器开发专项“紫外凸面光栅研发及应用”

科技部国家重大科学仪器开发专项“高端全息光栅研发”

国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”

“十一五”国家科技支撑计划重大项目《科学仪器设备研制与开发》课题“高分辨分光器件及接收部件 (器件)的研制与开发”

国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”

973计划项目“大面积光栅纳米精度制造中的基础问题研究”

科技部“国家光栅制造与应用工程技术研究中心”组建项目